Laboratoř elektronové mikroskopie je vybavena rastrovacím elektronovým mikroskopem VEGA II LSU firmy TESCAN (CZ):

  • s možností pozorování vzorků detektory SE, BSE, LVSTD  a TE
  • ve vysokém i nízkém vakuu
  • součástí mikroskopu je modul pro elektronovou litografii
skenovací elektronový mikroskop

 

Mikroskop je na naší katedře je využíván pracovníky i studenty zejména pro studium bezobratlých živočichů a mikroorganismů. Ve spolupráci s dalšími pracovišti PřF je také intenzivně využíván pro studium struktury materiálů.

Metodu elektronové litografie využíváme k přípravě mikro až nanostruktur na povrchu pevných substrátů pro výrobu senzorických mikrozařízení a mikrofluidních systémů a chromových masek na skleněných substrátech, které jsou určený pro procesy fotolitografie (zejména pro vývoj mikrofluidních zařízení).

K vybavení laboratoře patří zařízení pro přípravu mikroskopických preparátů pokovováním. K dispozici je zde naprašovačka zlata a je možné využít také naprašovací a napařovací stanici Quorum s využitím dalších kovů (Au, Ag, Ti, Cr, AL, Cu, atd.).