Laboratoř je určena pro výzkumnou činnost pracovníků a studentů v oblasti vývoje mikrofluidních biosensorů a tzv. lab-on-chip zařízení pro biomedicínské aplikace.

fotolitograf

 

Je vybavena zařízením pro přípravu tenkých vrstev fotorezistů (spincoater, topná deska s mikroprocesorovou regulací teploty), tenkých vrstev kovů a uhlíku metodou naprašování a napařování v plazmatu (naprašovačka firmy Quorum), popř. galvanickou depozicí. Zdroj kolimovaného UV záření a tzv. mask-aligner slouží k přenosu vzorů mikrofluidních kanálků definovaných chromovou maskou na citlivý fotorezist. Chromové masky jsou připravovány metodou elektronové litografie v Laboratoři elektronové mikroskopie.  Pomocí tzv. suchého plazmatického leptání (RIE, PlasmaEtch, USA) je možné vytvářet nano(mikro)strukturované povrchy leptáním v reaktivním plasmatu (CF4, O2) přes masku v různých materiálech (sklo, křemík, polymery atd.).  Vysokoteplotní pec pak slouží k vytváření uzavřených mikrokanálků ve skle.